网络上有很多文章说德国蔡司公司用德国ALZMETALL（奥美特公司）GS-1400重型精密立式五轴摇篮机床把EUV光刻机镜头直接加工到20皮米的表面粗糙度，风闻最近也有帖子提到。我对此感到怀疑，查证了一下，我认为这是一个误传，于是就有了这篇帖子。
蔡司公司加工光刻机镜头确实要用到精密机床铣磨，但后续还要经过小磨头抛光、磁流变抛光和离子束抛光（都是基于计算机控制光学表面成型技术，所以蔡司公司的资料里称为计算机控制抛光）才能达到0.12纳米的面型精度峰谷值和20皮米的表面粗糙度。
误传可能源自对蔡司公司这份PPT的误解：https://www.ipcei-me.eu/wp-content/uploads/2020/11/ESSDERC19-IPCEI-S3-ZEISS_Bilski_High_NA_EUV_Optics.pdf
这个PPT里提到了新一代EUV光刻机物镜的加工精度，但在加工方法中只给出了GS1400型机床，所以被误以为是由这台机床一次性加工到最终精度。事实上，PPT展示的物镜所标注的“First mirror ground”中“ground”是“grind”的过去分词，意为“研磨”，即这个镜片只经过了机床的研磨，之后还需要经过抛光（polish）才能达到最终的原子级精度，这是机加工机床所望尘莫及的。
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