光刻机镜头是如何加工的？
网络上有很多文章说德国蔡司公司用德国ALZMETALL（奥美特公司）GS-1400重型精密立式五轴摇篮机床把EUV光刻机镜头直接加工到20皮米的表面粗糙度，风闻最近也有帖子提到。我对此感到怀疑，查证了一下，我认为这是一个误传，于是就有了这篇帖子。 蔡司公司加工光刻机镜头确实要用到精密机床铣磨，但后续还要经过小磨头抛光、磁流变抛光和离子 ... 阅读更多
光刻机
会议纪要丨ASML光刻机专家交流纪要!
2023年3月31日 核心信息： 逻辑电路高制程一般只是底部第一层、第二层对精度要求高，上层电路精度要求不高，落后光刻机也可以做，fab 厂是各种型号设备组合使用的。 焦深是焦点上下 10%范围可以得到合格成像质量，大焦深可以得到更大工艺窗口，焦深与光刻胶的厚度、晶圆的平整度、基台的误差等都是相关的，无法通过软件改变，只能从工艺上做调整。光源、透镜、图形密集度都会影响焦深。 Gigaphoton ... 阅读更多