解读国产光刻机困局（八）：中国的EUV光刻机原型到底是什么？
转载自，这里。 --我们从哪里来？又到哪里去？ 前次我们初略探讨了长春光机所的EUV光刻机演示系统的2镜头球面Schwarzschild物镜,今天给大家仔细聊聊长春光机所--也可能是中国唯一的一套EUV光刻机原型到底是什么。 2003年长春光机所：金春水博士的EUV蓝图 2003年，历经千辛万苦完成国内首套可曝光EUV实验装置、初将毕业的长春光机所博士金春水，在博士论文里写下如下这段话（图1，图2 ... 阅读更多
成一家之言
转载自，这里。 --我们从哪里来？又到哪里去？ 前次我们初略探讨了长春光机所的EUV光刻机演示系统的2镜头球面Schwarzschild物镜,今天给大家仔细聊聊长春光机所--也可能是中国唯一的一套EUV光刻机原型到底是什么。 2003年长春光机所：金春水博士的EUV蓝图 2003年，历经千辛万苦完成国内首套可曝光EUV实验装置、初将毕业的长春光机所博士金春水，在博士论文里写下如下这段话（图1，图2 ... 阅读更多