DUV 3nm进展顺利,咱们采用了一种新的技术,可以这么认为叫做SADP+LELE
DUV 3nm进展顺利,咱们采用了一种新的技术,可以这么认为叫做SADP+LELE。是一种混合了2者优势的技术,名字叫做:“自对准LELE技术”。专业术语也有:“SALELE”即:self-aligned LELE 技术。--------------------关于大家担心的成本问题,如下:(这个成本计算是以最新的2021年标准化模式成本估计的,不是我编的,是搞来的,图也不是我画的,是业内大佬画的 ... 阅读更多