日期: 2023 年 4 月 18 日

光刻机镜头是如何加工的？

     网络上有很多文章说德国蔡司公司用德国ALZMETALL（奥美特公司）GS-1400重型精密立式五轴摇篮机床把EUV光刻机镜头直接加工到20皮米的表面粗糙度，风闻最近也有帖子提到。我对此感到怀疑，查证了一下，我认为这是一个误传，于是就有了这篇帖子。        蔡司公司加工光刻机镜头确实要用到精密机床铣磨，但后续还要经过小磨头抛光、磁流变抛光和离子 … 阅读更多