光刻机的镜头是如何加工的？
光刻机是生产芯片的关键设备之一，其工作方式类似于投影仪，把掩模版的图案缩小投影出来，使晶圆上的光刻胶受光照固化成型，得到电路图形，后续再以光刻胶图形为模版，通过刻蚀、沉积等手段制造电路。 为了在单位面积内集成更多晶体管（缩小晶体管的尺寸），光刻机所用的波长越来越短，以实现更高的分辨率。 深紫外（DUV）光刻机（使用248nm波长的KrF或19 … 阅读更多
每日归档： 2024年4月26日
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