转载：小光刻机——高端前道量测设备
光刻机——人类工业设备皇冠上的明珠！光刻机现在大家都知道是半导体设备最高端的设备，有着“人类工业设备皇冠上的明珠”的美誉，一台高端的光刻设备售价是几千万美金，甚至到几亿美金，堪比一架飞机的售价。有人从字面意义上去理解光刻机，总以为是类似激光设备，在硅片上“刻”一些复杂的电路，其实这种理解是错的，光刻机更准确的叫法应该是“曝光机”。从原理上来讲，光刻机并不复杂，本质上就是一个大型单反相机，它的工作是 … 阅读更多
日期: 2024 年 1 月 18 日
转载：大型科普（三）为什么28nm光刻机上多曝也无法做到7nm？
https://new.qq.com/rain/a/20230909A000VT00 接上一篇内容，前两个问题谓28nm光刻机是什么？如何定义？和决定光刻机的最小精度有哪些因素？什么叫套刻精度？相关的内容已经都讲过了，今天开始聊第三个问题：晶体管的实际参数的定义和物理意义，以及相关的知识。第四个问题多曝工艺/SAQP四曝工艺的详细图解得下次再讲，主要是我虽然理解，但是我得找个会搞PS的人帮我做图， … 阅读更多